全柜式涂膠顯影一體機

簡要描述：全柜式涂膠顯影一體機概述：
SHD6-BE涂膠顯影系統(tǒng)一體機主要由勻膠單元、烤膠單元、顯影單元等部分組成，該設備針對高校研究所實驗室，特點是占地面積小，性價價比更高。整機采用框架結(jié)構(gòu)，外表為不銹鋼或者PP，無塵且不吸附顆粒，采用7寸操作界面控制，帶FFU、上排風接口、腔體為黃色燈、重力排廢接口、且每個模塊均可獨立工作，操作方式為手動上下樣品。

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

SHD6-BE

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時間

2025-10-13

瀏覽次數(shù)

2524

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

顯影機勻膠機涂布機

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詳細介紹

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一、全柜式涂膠顯影一體機產(chǎn)品工作描述

1.1工藝步驟

涂膠（放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片）→烤機（放片、烘烤、取片）→轉(zhuǎn)移下道工序（曝光）→顯影（放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、甩干、取片）→（轉(zhuǎn)移下道工序）。

1.2控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由7寸觸摸屏和PLC控制模式，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。可實現(xiàn)自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調(diào)用工藝配方等。

二、全柜式涂膠顯影一體機規(guī)格

項目/Item

規(guī)格

主體

外觀：不銹鋼

模組：勻膠、熱板、顯影；

旋轉(zhuǎn)涂布模塊

轉(zhuǎn)速：20-5000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度: ±1 rpm

加速度：350-10000RPM/S

減速度：350-10000RPM/S

時間：1-3000S

均勻性:≤2%

控制方式: PLC

配方：50組20步

附件：無油真空泵

吸盤規(guī)格（10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可選）

烤膠模塊

溫度范圍:RT~300℃

處理尺寸≤?200mm

溫度均勻性≤±1.5%

控溫精度±0.2℃

顯影參數(shù)

處理樣品尺寸：6寸以內(nèi)

承盤:特氟龍

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度：±1RPM

搖臂：自動

藥液裝置：一路顯影、一路水

配方：可多步編程和程序存儲

附件：無油真空泵一臺；

吸盤一只（4、6寸兼容）

三、系統(tǒng)需求

項目

描述& 規(guī)格

系統(tǒng)需求

排風:160 m3/h

真空:>-60 Kpa

壓縮空氣:5kg

氮氣/:3kg

水4*6mm 2.0Kgf/cm2

電壓：220V\50HZ

四、設備尺寸

4.1尺寸&重量

參考尺寸：（寬*深*高）1600*800*2000mm

重量: 300KG

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